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半導(dǎo)體制造中的PFA
半導(dǎo)體是一種非常重要的電子材料,在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明等領(lǐng)域都有使用,大部分的電子產(chǎn)品和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)聯(lián),包括智能手機、電腦和家用電器等。隨著半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展,晶體管尺寸從10μm(微米)縮小到了7nm(納米),甚至5nm(納米),對化學(xué)品的純度要求非常苛刻。
含氟聚合物PFA是半導(dǎo)體制造應(yīng)用的重要材料之一,主要用于液體處理和運輸、化學(xué)包裝、晶圓處理和過濾。
PFA清洗花籃
清洗是PFA過濾網(wǎng)的重要工藝環(huán)節(jié),用于去除半導(dǎo)體硅片制造、晶圓制造和封裝測試步驟中存在的雜質(zhì)。PFA清洗花籃,是晶片清洗工藝的重要工具,因為要與藥液接觸,需要其耐酸堿性。由于花籃要與晶片相接觸,需要表面光滑。
PFA清洗槽
PFA清洗槽,用于浸泡、清洗器皿。PFA能耐受清洗溶液的腐蝕性,無溶出無析出,不會污染芯片晶圓。
PFA支架
PFA支架,在半導(dǎo)體濕法過程中,晶圓需要放置在特定支架上。利用PFA優(yōu)秀的柔韌性和加工性能,可以熔融加工制作成各種形狀的支架。
PFA過濾網(wǎng)
PFA過濾網(wǎng),半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中需要清洗或過濾鹽酸、硝酸、雙氧水以及其他一些防腐蝕要求的化學(xué)品流體,過濾材質(zhì)通常為高純PFA材料。在半導(dǎo)體蝕刻和清洗中,PFA還被制成各種工具,如流量計、燒杯等,以保證蝕刻液、清洗液的高純度。
化學(xué)機械拋光是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一種技術(shù),用來對正在加工中的硅片或其它材料進(jìn)行平坦化處理,所用到的液體是含有細(xì)顆粒的研磨液。利用PFA光滑性能制成的容器可防止?jié){料中的雜質(zhì)與晶圓接觸。
半導(dǎo)體元件產(chǎn)品的制造需要數(shù)百道工序,即使是少量雜質(zhì)也將對最終產(chǎn)品產(chǎn)生巨大影響。PFA具有極強的化學(xué)穩(wěn)定性,它能忍受高溫、強酸等極端環(huán)境,并且不會與溶劑發(fā)生反應(yīng),使得它成為儲存容器和運輸管道的良好材質(zhì)。
此外,半導(dǎo)體制造過程中要進(jìn)行種種不同處理,要在最高溫度接近200℃時用氫氟酸、鹽酸、硝酸、硫酸、磷酸、氨、過氧化氫水溶液等藥液處理。既能承受強酸、強堿,高溫和高壓的環(huán)境,又性能穩(wěn)定,這是PFA在半導(dǎo)體行業(yè)廣受歡迎的原因。